PHI 710掃描俄歇納米探針的詳細(xì)資料

• 產(chǎn)品特點(diǎn)

  *SEM空間分辨率AES≤3nm；成分像空間分辨率≤8nm

  俄歇分析通過SEM觀察確定分析位置，再進(jìn)行采譜，成分分布成像和深度剖析。在SEM觀察時(shí)需要細(xì)小的聚焦電子束斑，同時(shí)進(jìn)行俄歇分析，需要非常穩(wěn)定的電子束。

  SEM成像分辨率可達(dá)3納米左右，PHI 710使用低噪聲電源(圖1)，采用隔音罩以減小振動(dòng)、聲音、和溫度的影響，AES分析時(shí)分辨率可達(dá)到8nm 以下(20 kV 1nA).圖2案例:球墨鑄鐵斷面中晶間雜質(zhì)的分析。

  從左圖所示：二次電子像，在圖2中從左到右的影像所示分別為Ca(藍(lán)色) Mg(綠色) Ti(紅色)俄歇成分像，疊圖以及S的俄歇成分分布像，表明了AES納米級(jí)微區(qū)的化學(xué)分析能力。

  
  

  *同軸筒鏡分析儀CMA實(shí)現(xiàn)高靈敏度和高通量分析

同軸筒鏡分析儀(CMA:Cylindrical Mirror Analyzer)同軸 CMA 是PHI公司在其電子光譜儀上的重大發(fā)明。CMA能各方位360度收集產(chǎn)生的俄歇電子，因此具有不受樣品形貌和傾角影響的優(yōu)點(diǎn)。圖3 顯示同軸 CMA 和非同軸譜儀SCA的靈敏度比較。CMA 從垂直入射到角度入射均能表現(xiàn)出高靈敏度特點(diǎn)，角度依賴性低，從而采用各種入射角度，分析各種形貌的樣品均可得到優(yōu)異的靈敏度和定量結(jié)果。

*比較分析形態(tài)復(fù)雜的樣本

圖4比較CMA和傳統(tǒng)SCA所采集的球狀樣品的SEM成像，以及俄歇成分影像，SCA中俄歇成分圖的陰影效果非常明顯，而CMA在360°收集訊號(hào)的能力下所獲得的SEM像和俄歇成分像可準(zhǔn)確地反映真實(shí)結(jié)果。

*AES化學(xué)態(tài)分析，圖譜和分布像

PHI710 AES 成分像，每個(gè)像素點(diǎn)對(duì)應(yīng)的圖譜可對(duì)元素存在的化學(xué)態(tài)進(jìn)行解析和進(jìn)階的化學(xué)態(tài)成像。

圖5顯示半導(dǎo)體芯片電極 Si KLL的高能量分辨成分分布圖。由Si KLL譜進(jìn)行最小二乘法擬合(LLS)得出三個(gè)主要成分分別為單質(zhì)硅、氮氧化硅、硅化物，從而可把這三種不同化學(xué)態(tài)的硅單獨(dú)輸出成像分布圖。