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PHI ADEPT-1010愛發科ULVAC 動態二次離子質譜儀的詳細資料

品牌ULVAC/日本愛發科價格區間1000萬-2000萬
儀器種類四極桿應用領域電子/電池,制藥/生物制藥,半導體

愛發科ULVAC 動態二次離子質譜儀


ADEPT-1010 的超高真空檢測環境有助于對低濃度大氣污染物進行深度剖析,同時保持了出色的深度分辨率和低濺射率。這種檢測能力對于高速半導體器件的檢測信息完整性而言至關重要。應用SIMetric軟件,實現高效快速測試的同時,ADEPT-1010能夠自動分析分析多個樣品,實現無人值守。

·高靈敏度二次離子檢測光學系統

·懸浮電位離子槍適于淺注入層分析

·對大氣污染物組分具有低檢出限

·絕緣體深度分析

·高精度自動樣品臺

ADEPT-1010 專為淺層半導體注入和絕緣薄膜的自動分析而設計,是大多數半導體開發和支持實驗室的常用工具。通過優化的二次離子收集光學系統和超高真空設計,提供了薄膜結構檢測中的摻雜組分和常見雜質所需的靈敏度。

愛發科ULVAC 動態二次離子質譜儀




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